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洁净室空气洁净度等级标准
ISO 14644 根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室（区）及相关受控环境中空气洁净度的等级，并且仅考虑粒径限值（低限）在0.1um～5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。
根据粒子径，可以划分为常规粒子（0.1um～5.0um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。
空气洁净度分级标准： ISO14644-1 （国际标准）
空气洁净度等级（N）大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子）
| 0.1 um | 0.2 um | 0.3 um | 0.5u | 1um | 5 um | |
| ISO Class 1 | 10 | 2 | ||||
| ISO Class 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
| ISO Class 3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
| ISO Class 4 | 1000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |
| ISO Class 5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
| ISO Class 6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
| ISO Class 7 | 352000 | 83200 | 2930 | |||
| ISO Class 8 | 3520000 | 832000 | 29300 | |||
| ISO Class 9 | 35200000 | 8320000 | 293000 |
注：由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。
空气洁净度分级标准： GB/T16292-1996 （中国标准）
| 粒径、数值洁净度级别 | 尘埃最大允许数/立方米 | 浮游菌/立方米 ≥5um | 微生物最大允许数 ≥0.5um | 沉降菌/皿 |
| 100 | 3500 | 0 | 5 | 1 |
| 10000 | 350000 | 2000 | 100 | 3 |
| 100000 | 3500000 | 20000 | 500 | 10 |
| 300000 | 10500000 | 60000 | - | 15 |
美国联邦标准 209D 洁净室分级：（已停用）
| 空气洁净度等级（N） | 0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 5um |
| 1 | 35 | 7.5 | 3 | 1 | |
| 10 | 350 | 75 | 30 | 10 | |
| 100 | 750 | 300 | 100 | ||
| 1000 | 1000 | 7 | |||
| 10000 | 10000 | 70 | |||
| 100000 | 10000 | 700 |
英国 5295 标准洁净室和空气净化装置分级：
| 空气洁净度等级（N） | 0.3 | 0.5 | 5 | 10 | 25 |
| C | 100 | 35 | 0 | ||
| D | 1000 | 350 | 0 | ||
| E | 10000 | 3500 | 0 | ||
| F | 3500 | 0 | |||
| G | 100000 | 35000 | 200 | 0 | |
| H | 35000 | 200 | 0 | ||
| J | 350000 | 2000 | 450 | 0 | |
| K | 3500000 | 20000 | 4500 | 500 | |
| L | 200000 | 45000 | 5000 | ||
| M | 450000 | 50000 |
各种国际标准的比较：
| 美国联邦标准209D | 美国联邦标准209E | 英国标准BS5295 | 澳大利亚标准AS1386 | 法国标准AFNORX44101 | 德国标准VDI2083 | 国际标准14644-1 | 日本标准JACA2 |
| 1 | M1.5 | C | 0.035 | - | 1 | 1 | |
| 10 | M2.5 | D | 0.35 | - | 0 | 2 | 2 |
| 100 | M3.5 | E | 3.5 | 4000 | 1 | 3 | 3 |
| 1000 | M4.5 | G | 35 | - | 2 | 4 | 4 |
| 10000 | M5.5 | J | 350 | 400000 | 3 | 5 | 5 |
| 100000 | M6.5 | K | 3500 | 4000000 | 4 | 6 | 6 |
| - | M | 5 | 7 | 7 | |||
| - | 6 | 8 | 8 | ||||
| - | 7 | 9 |
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